Local Heat Dissipation and Elasticity of Suspended Silicon Nanowires Revealed by Dual Scanning Electron and Thermal Microscopies
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Le résumé fourni par la source
Abstract A novel combined setup, with a scanning thermal microscope (SThM) embedded in a scanning electron microscope (SEM), is used to characterize a suspended silicon rough nanowire (NW), which is epitaxially clamped at both sides and therefore monolithically integrated in a microfabricated device. The rough nature of the NW surface, which prohibits vacuum‐SThM due to loose contact for heat dissipation, is circumvented by decorating the NW with periodic platinum dots. Reproducible approaches over these dots, enabled by the live feedback image provided by the SEM, yield a strong improvement in thermal contact resistance and a higher accuracy in its estimation. The results—thermal resistance at the tip‐sample contact of 188±3.7K µW−1and thermal conductivity of the NW of 13.7±1.6W m−1K−1—are obtained by performing a series of approach curves on the dots. Noteworthy, the technique allows measuring elastic properties at the same time—the moment of inertia of the NW is found to be (6.1±1.0) × 10−30m4—which permits to correlate the respective effects of the rough shell on heat dissipation and on the NW stiffness. The work highlights the capabilities of the dual SThM/SEM instrument, in particular the interest of systematic approach curves with well‐positioned and monitored tip motion.
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Local Heat Dissipation and Elasticity of Suspended Silicon Nanowires Revealed by Dual Scanning Electron and Thermal Microscopies
- Date Crossref
- 13/12/2023
- Éditeur
- Wiley
- Type
- journal-article
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Où se fait cette recherche
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University of Basel Department of Physics pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Institut de Recerca en Energia de Catalunya pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Lyon 1 Université pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Centre National de la Recherche Scientifique pays non établi dans la noticeOrganisme public
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Centre d'Énergétique et de Thermique de Lyon pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Institut Lumière Matière pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Institut de Microelectrònica de Barcelona pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Institució Catalana de Recerca i Estudis Avançats pays non établi dans la noticeOrganisation à but non lucratif
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Department of advanced energy materials Catalonia Institute for Energy Research pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Université de Lyon Université Clade Bernard Lyon 1 pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Institute of Microelectronics of Barcelona pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Catalan Institution for Research and Advanced Studies pays non établi dans la noticeStructure de recherche
Department of Physics — University of Basel, Institut de Recerca en Energia de Catalunya et Lyon 1 Université, avec 9 autres affiliations.
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