MEMS Resonator Parameter Estimation from Fast Frequency Sweeps
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Le résumé fourni par la source
In this paper, we introduce a new approach to the estimation of the parameters of high quality factor, low natural frequency resonators. Our approach is based on transient measurements of the slowly-varying amplitude and phase response of a resonator to an arbitrary nearly-periodic drive stimulus. We show how this approach may be employed for estimating the parameters of nonlinear resonators, with a parameter estimation procedure that does not rely on a closed-form expression of the transient response, nor on an iterative algorithm (it results in a linear least squares problem), is simple to implement and is very amenable to integration. We illustrate our approach with simulations of fast frequency sweeps, highlight its benefits compared to steady-state response fitting, and study its robustness to measurement noise.
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- MEMS Resonator Parameter Estimation from Fast Frequency Sweeps
- Date Crossref
- 24/04/2022
- Éditeur
- IEEE
- Type
- proceedings-article
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Où se fait cette recherche
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Centre National de la Recherche Scientifique pays non établi dans la noticeOrganisme public
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Université Paris-Saclay pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Laboratoire de Génie Électrique et Électronique de Paris pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Sorbonne Université pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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CentraleSupélec pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Département Physique pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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CNRS UMR8507 pays non établi dans la noticeStructure de recherche
Centre National de la Recherche Scientifique, Université Paris-Saclay et Laboratoire de Génie Électrique et Électronique de Paris, avec 5 autres affiliations.
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