LiNbO3 channel and ridge waveguides based on helium ion implantation combined with lithography and precise diamond dicing
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Le résumé fourni par la source
Lithium niobate (LiNbO 3 , LN) channel and ridge waveguides have been successfully fabricated by He ion implantation, which has energy of 500 keV and fluence of 1.5 × 10 16 ions=cm 2 and is combined with lithography and the precise diamond dicing technique.The refractive index profile of the annealed LN planar waveguide was reconstructed.The propagation loss of the channel waveguide with a width of 10 μm and that of the ridge waveguides with widths of 25 μm and 15 μm were investigated by the end-face coupling method.In our work, the factors that affect the waveguide properties of channel and ridge waveguides were revealed.
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- LiNbO3 channel and ridge waveguides based on helium ion implantation combined with lithography and precise diamond dicing
- Date Crossref
- 01/01/2022
- Éditeur
- Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics
- Type
- journal-article
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Où se fait cette recherche
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Shandong Jianzhu University pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Liaocheng University pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Shandong Normal University pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Shandong University pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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School of Science pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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School of Physical Science and Information Technology Shandong Key Laboratory of Optical Communication Science and Technology pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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School of Physics and Electronics Shandong Provincial Engineering and Technical Center of Light Manipulations & Shandong Provincial Key Laboratory of Optics and Photonic Device pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
Shandong Jianzhu University, Liaocheng University et Shandong Normal University, avec 4 autres affiliations.
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