1993 book-chapter

Interfacial reactions of titanium thin films on ion implanted (001) Si

H.R. Liauh, M.C. Chen, Jinsong Chen, liwei chen, W. Lur, C.H. Chu

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Titre Crossref
Interfacial reactions of titanium thin films on ion implanted (001) Si
Date Crossref
01/01/1993
Éditeur
Elsevier
Type
book-chapter

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Les sujets associés

Ion-surface interactions and analysisMetal and Thin Film MechanicsSemiconductor materials and interfaces
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