Soft x-ray laser beamline for surface processing and damage studies
Rattachement africain : jp. Niveau de preuve : code pays fourni par la source.
Le résumé fourni par la source
We have developed a soft x-ray laser (SXRL) beamline equipped with an intensity monitor dedicated to ablation study such as surface processing and damage formation. The SXRL beam having a wavelength of 13.9 nm, pulse width of 7 ps, and pulse energy of around 200 nJ is generated from Ag plasma mediums using an oscillator-amplifier configuration. The SXRL beam is focused onto the sample surface by the Mo/Si multilayer coated spherical mirror. To get the correct irradiation energy/fluence, an intensity monitor composed of a Mo/Si multilayer beam splitter and an x-ray charge-coupled device camera has been installed in the beamline. The Mo/Si multilayer beam splitter has a large polarization dependence in the reflectivity around the incident angle of 45°. However, by evaluating the relationship between reflectivity and transmittance of the beam splitter appropriately, the irradiation energy onto the sample surface can be derived from the energy acquired by the intensity monitor. This SXRL beamline is available to not only the ablation phenomena but also the performance evaluation of soft x-ray optics and resists.
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Soft x-ray laser beamline for surface processing and damage studies
- Date Crossref
- 16/04/2020
- Éditeur
- Optica Publishing Group
- Type
- journal-article
Ce recoupement confirme des métadonnées liées au DOI. Il ne confirme ni la méthode ni les conclusions de l’étude, et il ne compte pas comme une seconde source scientifique indépendante.
Où se fait cette recherche
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National Institutes for Quantum Science and Technology pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Tohoku University Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Utsunomiya University pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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The University of Tokyo Photon Science Center pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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NTT (Japan) pays non établi dans la noticeEntreprise
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NTT Advanced Technology Corporation (Japan) pays non établi dans la noticeEntreprise
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Kansai Photon Science Institute pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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QST Advanced Study Laboratory Group of EUV Ultra-precision Technology pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Faculty of Engineering Department of Electrical and Electric Engineering pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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NTT Advanced Technology Co. pays non établi dans la noticeInstitution
National Institutes for Quantum Science and Technology, Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials — Tohoku University et Utsunomiya University, avec 7 autres affiliations.
Une affiliation ne permet pas de déduire la nationalité d’un auteur.