Characteristics of the Electron Beam Ion Source
Rattachement africain : jp. Niveau de preuve : code pays fourni par la source.
Le résumé fourni par la source
The electron beam ion source (Kobe EBIS) has been developed to perform modification of surfaces using highly charged ions (HCIs). Recent study revealed that periodic intermission of electron beam improves charge state distribution of extracted ions. The repetition of ON/OFF of electron beam with the period in the order of 100ms and the width of beam-off time being 1ms or less made it possible to produce Ar15+ to Ar17+ effectively, while the charge is limited less than 14+ under the ordinary operation mode. A spike of HCIs is also produced at each moment of electron beam off.
Ce résumé expose les affirmations des auteurs. BNTIC ne l’interprète pas comme une validation indépendante des résultats.
Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Characteristics of the Electron Beam Ion Source
- Date Crossref
- 01/01/2012
- Éditeur
- The Vacuum Society of Japan
- Type
- journal-article
Ce recoupement confirme des métadonnées liées au DOI. Il ne confirme ni la méthode ni les conclusions de l’étude, et il ne compte pas comme une seconde source scientifique indépendante.
Les institutions déclarées
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