Design and fabrication of an analog ASIC interfacing a μ-resonant capacitive MEMS sensor in a high-temperature environment (200°C)
Rattachement africain : fr. Niveau de preuve : code pays fourni par la source.
Le résumé fourni par la source
This paper is dedicated to an electronic oscillator designed to control a MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) sensor based on a clamped-clamped silicon micro-beam resonator. Due to the high-temperature environment (200°C) and the MEMS specificities, a specific architecture (MRC transimpedance) was implemented in a standard CMOS technology to improve the robustness and to enable the compensation of drifts due to the technologies used for both the sensor and the ASIC. Particular attention is given to the transimpedance first stage of the oscillator. In this paper and after a brief description of the entire oscillator, experimental results are given to demonstrate the capability of the designed ASIC.
Ce résumé expose les affirmations des auteurs. BNTIC ne l’interprète pas comme une validation indépendante des résultats.
Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Design and fabrication of an analog ASIC interfacing a μ-resonant capacitive MEMS sensor in a high-temperature environment (200°C)
- Date Crossref
- 01/11/2002
- Éditeur
- SPIE
- Type
- proceedings-article
Ce recoupement confirme des métadonnées liées au DOI. Il ne confirme ni la méthode ni les conclusions de l’étude, et il ne compte pas comme une seconde source scientifique indépendante.
Où se fait cette recherche
-
UniLaSalle Amiens (ESIEE-Amiens) pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
-
Université Gustave Eiffel pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
-
Groupe ESIEE (France) pays non établi dans la noticeInstitution
-
TRONIC'S Microsystems (France) pays non établi dans la noticeInstitution
UniLaSalle Amiens (ESIEE-Amiens), Université Gustave Eiffel et Groupe ESIEE (France), avec 1 autre affiliation.
Une affiliation ne permet pas de déduire la nationalité d’un auteur.