Epitaxy: A Chemical Route to Monolithic Integration of Crystalline Oxides on Semiconductors (Adv. Mater. Interfaces 8/2014)
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Le résumé fourni par la source
A chemical route to crystalline oxide growth on semiconductors is demonstrated. As J. G. Ekerdt and co-workers report in article 1400081, the direct deposition of crystalline SrTiO3 on Ge is achieved through atomic layer deposition. This work is a significant milestone for the monolithic integration of crystalline oxides on semiconductors, with wide-reaching potential for advanced electronic applications.
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Le contrôle bibliographique ouvert
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- Titre Crossref
- Epitaxy: A Chemical Route to Monolithic Integration of Crystalline Oxides on Semiconductors (Adv. Mater. Interfaces 8/2014)
- Date Crossref
- 01/11/2014
- Éditeur
- Wiley
- Type
- journal-article
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Les institutions déclarées
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