Laser thermoreflectance for semiconductor thin films metrology
Rattachement africain : be. Niveau de preuve : code pays fourni par la source.
Le résumé fourni par la source
We present a thermoreflectance-based metrology concept applied to compound semiconductor thin films off-line characterization in the solar cells scribing process. The presented thermoreflectance setup has been used to evaluate the thermal diffusivity of thin CdTe films and to measure eventual changes in the thermal properties of 5 μm CdTe films ablated by nano and picosecond laser pulses. The temperature response of the CdTe thin film to the nanosecond heating pulse has been numerically investigated using the finite-difference time-domain (FDTD) method. The computational and experimental results have been compared.
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Laser thermoreflectance for semiconductor thin films metrology
- Date Crossref
- 01/06/2012
- Éditeur
- SPIE
- Type
- proceedings-article
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Les institutions déclarées
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