Miniaturized Wide-Range Field-Emission Vacuum Gauge
Rattachement africain : at. Niveau de preuve : code pays fourni par la source.
Le résumé fourni par la source
Miniaturized vacuum gauges (MVGs) for the measurement range 5.7times10−7 to 1.1times10−2 mbar were fabricated in a self-aligned approach using focused ion beam (FIB) nanoma-chining and reactive ion etching (RIE). The MVG consists of two properly insulated electrodes integrated on top of an atomic force microscopy (AFM) tip, forming a coaxial embodiment. The special design enables us to vary the cathode-anode separation and the turn-on voltage changes accordingly. The experiments show that the MVGs operate at low bias potential and demonstrate very good I-P dependence over a wide pressure range.
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Miniaturized Wide-Range Field-Emission Vacuum Gauge
- Date Crossref
- 01/01/2014
- Éditeur
- SAGE Publications
- Type
- journal-article
Ce recoupement confirme des métadonnées liées au DOI. Il ne confirme ni la méthode ni les conclusions de l’étude, et il ne compte pas comme une seconde source scientifique indépendante.
Où se fait cette recherche
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TU Wien pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Vienna University of Technology pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Institute of Solid State Electronics pays non établi dans la noticeStructure de recherche
TU Wien, Vienna University of Technology et Institute of Solid State Electronics.
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