Diffraction based optical MEMS microphones and accelerometers with active electrostatic force feedback
Rattachement africain : us. Niveau de preuve : code pays fourni par la source.
Le résumé fourni par la source
Diffraction-based optical displacement detection method and its use in low noise micromachined microphones have been shown earlier. [Hall et al., J. Acoust. Soc. Am. 118, 3000-3009 (2005), Garcia et al., J. Acoust. Soc. Am. 121, 3155 (2007)]. In these devices, the integrated electrostatic port of the sensor is uncoupled from the integrated optical sensing. This structure enables one to use this port for sensitivity tuning, self characterization, and active control to adjust the device dynamics. Given that the displacement noise of integrated optical sensor is below the thermal-mechanical noise of the mechanical structure, one can implement force feedback methods such as active Q-control, or adjust device stiffness without adding substantial noise to the system. We implemented micromachined optical microphones and accelerometers with integrated optoelectronics integrated in a 1.5mm3 volume. We present experimental results on force feedback Q-control of low noise omnidirectional, and biomimetic directional optical microphones, as well as adjusting the stiffness of accelerometers to improve their frequency response. [Work supported by NIH Grant 5R01DC005762-03 and the Catalyst Foundation.]
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Diffraction based optical MEMS microphones and accelerometers with active electrostatic force feedback
- Date Crossref
- 01/05/2008
- Éditeur
- Acoustical Society of America (ASA)
- Type
- journal-article
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Où se fait cette recherche
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Georgia Institute of Technology pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Sandia National Laboratories pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Binghamton University pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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G. W. Woodruff School of Mechanical Engineering Georgia Institute of Technology pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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State University of New York pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
Georgia Institute of Technology, Sandia National Laboratories et Binghamton University, avec 2 autres affiliations.
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