Some Characteristics of Highly Purified Aluminum
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Le résumé fourni par la source
High-purity aluminum was prepared from commercially available 5N aluminum using the so-called NF method, which is a single-pass solidification method similar to zone refining. Characteristics of three grades of aluminum were measured and analyzed. The residual resistivity ratio (RRR) of the purified aluminum exceeded 11000, while the RRR of the raw material and of the impurity-concentrated end part were much smaller. The radioactivity of α emitters in purified aluminum was directly measured. Their contents were reduced to less than the background level under the current experimental condition. These results suggest that the purifying process for aluminum is useful for the densification of devices in large-scale integrated circuits.
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Some Characteristics of Highly Purified Aluminum
- Date Crossref
- 01/01/2002
- Éditeur
- Wiley
- Type
- journal-article
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Où se fait cette recherche
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Tokai University pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Tohoku University Institute for Materials Research pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Ltd. Vacuum Metallurgical Co. pays non établi dans la noticeEntreprise
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School of Engineering pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
Tokai University, Institute for Materials Research — Tohoku University et Vacuum Metallurgical Co. — Ltd., avec 1 autre affiliation.
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