2002 conference-paper

Large amplitude effects on the resonant frequency of electrostatically driven microresonators: theory and experimental validation

Hua Chen, Olivier Français, Olivier Gigan, Olivier Robert

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Le résumé fourni par la source

This paper is dedicated to a global study of large amplitude effects of electrostatically driven microresonators. Special attention is given to the electrostatic soft spring effect. A theoretical description of the amplitude-induced soft spring effect is given to an electrostatically driven parallel-plate type resonator. A coefficient representing the beam mode shape is introduced, for a clamped-clamped beam resonator. Electrostatic soft spring effect is combined with hard spring effect to highlight the possibility of obtaining a design criteria for compensating the two effects. Hysterisis due to nonlinear forces are addressed, and a critical amplitude is given. A numeric simulator based on MATLAB/Simulink is developed to highlight the electrostatic soft spring effect. Three prototypes with different geometries, which represent each a typical case, are fabricated on an SOI wafer. The design criteria has been compared with measurements obtained with prototypes and experimental results showed good agreements with theory and simulations.

Ce résumé expose les affirmations des auteurs. BNTIC ne l’interprète pas comme une validation indépendante des résultats.

Le contrôle bibliographique ouvert

DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.

Titre Crossref: Large amplitude effects on the resonant frequency of electrostatically driven microresonators: theory and experimental validation
Date Crossref: 01/11/2002
Éditeur: SPIE
Type: proceedings-article

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