Air damping of mechanical microbeam resonators with optical excitation and optical detection
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Le résumé fourni par la source
This paper is dedicated to both Finite Element Method (FEM) simulations and optical measurements of the mechanical quality factor dependence on air pressure of microbeam resonators. Firstly, a summary of previous theoretical works is given, for two different air cavity cases. Different damping mechanisms are discussed. Secondly, FEM simulation results using MEMCAD software are obtained for resonators with small air gaps. Finally, prototypes of silicon resonators are fabricated using SOI technology, and characterized under a precisely controlled vacuum chamber. In order to investigate both air cavity cases, optical excitation/detection is used. Good agreements are obtained with theory and simulations.
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Le contrôle bibliographique ouvert
DOI retrouvé dans Crossref DOI retrouvé ; titre concordant.
- Titre Crossref
- Air damping of mechanical microbeam resonators with optical excitation and optical detection
- Date Crossref
- 25/06/2003
- Éditeur
- IEEE
- Type
- proceedings-article
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Où se fait cette recherche
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UniLaSalle Amiens (ESIEE-Amiens) pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Université Gustave Eiffel pays non établi dans la noticeUniversité ou école supérieure
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Laboratoire d'Optique Appliquée pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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ELMI laboratory pays non établi dans la noticeStructure de recherche
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Division Optique pays non établi dans la noticeInstitution
UniLaSalle Amiens (ESIEE-Amiens), Université Gustave Eiffel et Laboratoire d'Optique Appliquée, avec 2 autres affiliations.
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