气相传输平衡法在（11-20）面蓝宝石上制备γ铝酸锂膜

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为了寻找可能替代蓝宝石作为氮化镓外延的新型衬底，通过48h的气相传输平衡，分别在1000℃、1030℃、1050℃、1070℃和1100℃制备了一层单相多晶的γ铝酸锂膜。X射线衍射和扫描电镜分别用于表征膜的物相、取向和表面形貌。结果显示，γ铝酸锂择优取向的好坏取决于气相平衡传输温度，在1050℃制备的γ铝酸锂具有高度的[100]择优取向；在γ铝酸锂（001）面上的双轴拉应力可能有助于[100]择优取向的形成；γ铝酸锂晶粒表面裂纹的方向一致性与其择优取向紧密相关。上述结果表明在合适的工艺条件下，气相传输平衡

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