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F.M. Benito

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Thermography and Photoacoustic TechniquesSilicon and Solar Cell TechnologiesUltrasonics and Acoustic Wave PropagationThermal properties of materialsSpectroscopy Techniques in Biomedical and Chemical Research

Les publications récentes

2025 conference-paper OpenAlex

Quantitative 3D-Defect Localization Using Lock-In Thermography Based on Lateral Phase Characteristics

Sebastian Brand, Michael Koegel, Christian U. Große, Frank Altmann et autres

Abstract The paper discusses enhancements in quantitative thermal lockin inspection (LIT) through analysis of the spatial phase distribution for precise defect localization in complex microelectronic components. It addresses the challenges that arise from increasing integration density and diversification in material composition in …

de, us (code pays fourni par la source)

0 citations Proceedings - International Symposium for Testing and Failure Analysis

Accès ouvert 2025 article OpenAlex

Localization enhancement in quantitative thermal lock-in analysis using spatial phase evaluation

Sebastian Brand, Michael Koegel, Christian U. Große, Frank Altmann et autres

The paper discusses enhancements in quantitative thermal lock-in analysis through spatial phase evaluation for defect localization in complex microelectronic components. It addresses the challenges of increasing integration density and diverse material composition in microelectronics. The primary focus of the present work is …

de, us (code pays fourni par la source)

2 citations Microelectronics Reliability

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